VAG系列運(yùn)動(dòng)平臺(tái)是XIVI持續(xù)多年在高級(jí)材料、特有加工技術(shù)、精密結(jié)構(gòu)分析與設(shè)計(jì)領(lǐng)域不斷投入后，專(zhuān)門(mén)為幫助當(dāng)今半導(dǎo)體工業(yè)設(shè)備制造業(yè)實(shí)現(xiàn)高精度、高產(chǎn)出率目標(biāo)而研發(fā)的系列平臺(tái)。高自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)及精英的研發(fā)團(tuán)隊(duì)，能確保我們的企業(yè)在迎接未來(lái)挑戰(zhàn)時(shí)， 始終保持領(lǐng)先的技術(shù)能力 。VAG系列運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，非常能滿(mǎn)足在電子及半導(dǎo)體加工、檢測(cè)行業(yè)極具挑戰(zhàn)的嚴(yán)苛要求。

	掃描速度快
	線(xiàn)性編碼器反饋
	整定時(shí)間小
	全氣浮及真空預(yù)載