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EFEM

晶圓傳輸


特征
1699406847913470.png通過選配2臺Aligner可以達(dá)到高Throughput 
1699406847913470.png真空吸附式取放片和邊緣夾持式取放片（可選）
1699406847913470.png可兼容200/300mm （可選）
1699406847913470.pngOHT、Stocker可對應(yīng)



選配
1699406847913470.pngE84
1699406847913470.pngOCR
1699406847913470.pngIonizer  
1699406847913470.pngAutoteaching
1699406847913470.pngTeaching pendant
1699406847913470.pngChemical Filter
1699406847913470.png可對應(yīng)Barcode Reader、 RF-ID Reader


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SPECIFICATIONS

規(guī)格表0808更新.jpg

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為獨特需求，量身定制，確保每次都是完美匹配。
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